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09/06/02 23:46
오래 전 일이라 기억이 가물가물하지만... 원래 오믹 콘택이라는 게 생각보다 만들기 어렵습니다. 즉, 금속과 반도체 사이의 경계(interface)의 청결성 유지가 첫 번째 관건인데, 생각보다 쉽지 않아 툭 하면 쇼트키 같은 커브를 보여준 것으로 기억합니다. 별 도움을 드리지 못해서 죄송한데, 그런데 실리콘의 경우 제 기억에는 콘택용 금속으로 인듐을 쓰지는 않았던 것 같은데요? (반도체와 금속 사이의 워크 펑션 차이에 의해 에너지 밴드가 구부러지기에, 반도체에 따라 콘택용으로 쓸 수 있는 금속들이 다를 겁니다)
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